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GMP清洗机对玻璃表面污垢的清除
发布时间:2015-09-06  浏览次数:328人次

用等离子体GMP清洗机清洗可以除去各种玻璃制品上的污垢,玻璃不仅包括普通玻璃而且包括各种光学镜头用玻璃、电视荧光屏、彩管玻璃等特种玻瑞,被油除的污垢通常是水和油污。下面通过几个实例加以说明氧化铟锡(ITO)膜导电玻璃的等离子体GMP清洗机清洗:载化铟锡膜导电玻璃由于具有很高的可见光透射比和导电率,而被用做液晶显示等平板显示器的进明导电电极。要制造出高质,的液晶显示器要求形成的(ITO)膜层必须具有针孔少,表面无颗粒,膜层粘附力强的特点。用常规的GMP清洗机清洗方法清洗和烘干处理玻璃基片,很难彻底清除吸附在玻璃表面的污较。而在运输、搬运过程中由于其表面暴露在空气中,难免吸附上环境中的气体、水汽和灰尘,如果不加处理就会造成膜层与基片结合力不强,产生针孔和颗粒等问题,这些问题可以通过用等离子体在线清洗底基玻璃的方法加以解决。


    等离子体在线清洗是在真空室中完成的,将屏蔽罩与加速极连在一起,把玻璃基片故在加速极的上方,然后把真空室抽真空到0.01 Pa,再向真空室内充入几Pa的氢气和少量的氢气。然后接通射频电源引发辉光放电产生等离子体,在加速极上方形成一层人面积均匀的等离子体,等离子体频繁碰撞玻璃基板使玻璃基片被清洗干净,其表面被活化,表面能提高。同时基片表面会产生许多凹坑、孔眼,在沉积过程中形成薄膜的分子进入这些位置就增加了机械锁合力,同时GMP清洗机清洗后实际的表面积加大,使薄膜与玻璃表面的结合力大大增加。研究表明沉积薄膜的附着力比未经等离子体处理的提高了三倍。由于等离子体清洗是在密闭的环境中进行在线清洗的,即等离子体GMP清洗机清洗与涂膜沉积是在一条连续的生产线上进行的,从而遥免了基游在大气环境中而造成的二次污染。目前已在ITO膜透明导电玻璃连续生产线上投入实际应用。 


    实践证明用等离子体GMP清洗机清洗去除各种玻璃表面上残留的水滴有很好的效果.这种情况下使用的是不活泼的气体,如氢气、氮气等。其中组气的相对密度比氮气大,化学性质也更不活泼。不活泼气体用于等离子体GMP清洗机清洗,它的物理作用比较突出,特别是对玻璃和金属表面微量吸着的残留水膜和有机污垢的去除很有效,在用等离子体GMP清洗机清洗过程中存在这样的规律:真空室的真空度越高,使用的高孩电压越高,清洗效果越好,产生的废物气体越易被排除,也有利于防止清洗对象被二次污染。


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